訂製各種真空室及配套係統

我們的工程部、生產部及組裝測試部，可根據您的特殊需求，專業訂製真空室及其附設的子係統。我們為HV或UHV應用所設計及製造的各種真空腔室，包括為R&D設計的小型球型真空室，和工業量產鍍膜設備所需的長達14英尺以上的大型盒型真空室，可滿足各種需求。

另外，任何客戶訂製的真空室都可通過工程設計，與其他適當的真空組件組合，成為一套功能完整的係統零部件設備。

真空室結構與材質配製 (Construction & Materials)
多種結構型態：球型、盒狀、圓柱型及鍾罩狀，可由各種不鏽鋼材質 (304, 304L, 316, 316L) 或鋁材質所製。所有材質是經過特別選擇的，可達到低磁滲透性的要求。

加工能力 (Machining Capabilities)
我們使用業界知名公司(例如Mazak和Kuraki等公司)的的CNC加工中心。所有的加工中心都使用有利於真空的無硫冷卻劑，以降低腔室表麵放氣。

檢測及清潔處理 (Inspection & Cleaning)
我們一般使用精密的CMM檢測臂去檢查加工完畢的真空室的加工公差，而當使用我們的六軸CNC加工中心來製造大型的產品時，則采用檢測探針進行現場檢測。所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴格的觀察檢驗及氦檢漏測試，以達到真空完整性。

我們有一套嚴格的真空腔室清洗設備及程序，清洗完成後，我們用高溫爐將其烘幹；另外，我們也可以根據客戶的要求，進行特定的清洗程序。

真空室的配製係統 (Chamber Sub-Assemblies)
為配合客戶特珠的應用需求，我們可以為客戶訂製的真空室配置所需的其他真空部件，以構成一套完整的真空配製係統。

通常為真空室配備的組件包括：

• 支撐的框架——是由碳素鋼或擠壓鋁所製。多種不同結構的機櫃及開放隔間可供選擇。
• 泵組合——任意高真空泵(渦輪分子泵、低溫泵或油擴散泵)，可同時配備相應的初級泵。
• 閥門及真空計組合——手動控製及全自動控製，兩種組合可選。
• 真空鎖（Load Lock）組合——即樣品預真空室組合，包括真空鎖腔室、樣品傳送裝置、渦輪分子泵及進氣閥門等。

另外，我們也為一些小型實驗室及大學等研發用戶提供標準的經濟的鍾罩型真空室子係統。這種已核可的零部件包括：玻璃或金屬結構的鍾罩腔室、腔室基座、連接各種穿通密封件（Feedthrough）用的環型腔室、機櫃式支撐框架（可配備鍾罩室升降的動力裝置），及配套的真空泵組合。